Особенности:
Скорость маркировки: 4000 мм/сек.
Скорость позиционирования: 5000 мм/сек.
Маленький шаг Время отклика: ≤ 0,4 ms
Длина волны: 10,6 мкм 1064нм 355нм точность и погрешность
Линейность: 99.9%
Повторная точность позиционирования/Электрическое значение: 8 μRad.
Долгосрочной перспективе дрейф (8 часов непрерывной работы) по уровню поверхности: <0,5 мрад
Ошибка усиления:<8 мрад
Нулевое Смещение (ошибка пакетного происхождения):<20 μRad./℃
Ошибка отслеживания: ≤ 180us
Пропорция дрейфа:<40ppm/℃
Нулевой дрейф:<15 мрад./℃
Порог повреждения объектива
Матрица K9: 9,1 Дж/см ^ 2
Подложка Si: 10 Дж/см ^ 2
Мощность и сигнал
Входное напряжение: ± 15 В постоянного тока
Средний рабочий ток: 2.0A
Номер интерфейса сигнала: XY2-100
Пиковый ток: 15а
Рабочая температура: 10 ℃- 45 ℃
Входное сопротивление позиционного сигнала: 0KΩ ± 1%
Позиционный входной сигнал пропорциональный коэффициент: 0,33 в/°
Рабочий ток, температура, размер
Рабочая температура: 0 ℃- 45 ℃
Температура хранения:-10 ℃- + 60 ℃
Лазерная Входная Диафрагма: 10 мм
X, Y объектива Центр Расстояние: 13,5 мм
Максимальный угол сканирования: ± 15 °
Размер платы драйвера (длина × ширина × высота):75*46*25 мм
Размер гальванометра (длина × ширина × высота):100 × 95 × 120 мм
Вес: 850 г